Design and evaluation of a minienvironment for semiconductor manufacture processes
| Autor(en): |
S. C. Hu
Y. K. Chuah M. C. Yen |
|---|---|
| Medium: | Fachartikel |
| Sprache(n): | Englisch |
| Veröffentlicht in: | Building and Environment, Februar 2002, n. 2, v. 37 |
| Seite(n): | 201-208 |
| DOI: | 10.1016/s0360-1323(00)00095-0 |
- Über diese
Datenseite - Reference-ID
10393175 - Veröffentlicht am:
26.11.2019 - Geändert am:
26.11.2019
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