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Analysis for Pull-In Voltage of a Multilayered Micro-Bridge Driven by Electrostatic Force

Autor(en):


Medium: Fachartikel
Sprache(n): Englisch
Veröffentlicht in: Engineering, , n. 1, v. 2
Seite(n): 55-59
DOI: 10.4236/eng.2010.21007
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  • Reference-ID
    10669066
  • Veröffentlicht am:
    28.05.2022
  • Geändert am:
    28.05.2022
 
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